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| inficon真空計是種高精度測量設備 |
| 點擊次數：46 更新時間：2025-11-25 |
inficon真空計作為一種高精度的測量設備，在科研、工業生產等領域有著廣泛的應用，采用整個陶瓷涂敷的傳感器單元用于高腐蝕性的應用，適用于惡劣的工作環境。 inficon真空計的基本工作原理： 1.皮拉尼熱導原理：以常見的PSG系列為例，它屬于皮拉尼真空計的一種。工作時先加熱電阻絲，使其升溫至需要的工作溫度。由于氣體粒子與電阻絲碰撞后離開時會帶走能量，導致電阻絲的溫度發生變化。而熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系。具體又分為兩種方式，一種是穩定溫度，測量施加的電壓變化來等效測量真空度；另一種是穩定電壓，測量溫度變化來等效測量真空度。通過這種方式實現對真空度的間接測量。 2.電容薄膜規原理：如PCG系列的電容薄膜規，是基于壓力使膜片變形，且變形量與壓力大小成比例的關系來進行測量的。當被測真空環境中的壓力作用于陶瓷膜片時，膜片會產生相應的形變，通過測量這個形變量就能夠得知當前的真空度數值。 inficon真空計的測定步驟： 1.安裝與連接 -真空連接：根據具體的型號和接口要求，將真空計正確地連接到被測系統的真空管道上。例如，某些型號可能需要拆卸磁鐵單元(僅適用于帶CF法蘭的真空計)來進行安裝。確保連接處密封良好，防止漏氣影響測量準確性。 -電連接：完成真空連接后，進行電氣線路的連接。按照說明書的要求，將真空計與相應的控制器或其他測量儀器連接起來，保證電源供應穩定且符合設備規定的電壓、電流等參數。 2.開機預熱與穩定：打開電源開關，此時真空計開始工作。在施加電源電壓時會有測量信號產生，需要允許至少10分鐘的穩定期，讓設備內部的元件達到穩定的工作狀態，以確保后續測量結果的準確性。 3.讀取數據：當設備穩定后，即可從顯示屏或通過連接到的其他數據采集裝置上讀取真空度的數值。不同類型的INFICON真空計可能采用不同的傳感器原理來測量真空度，如電容膜片式、皮拉尼式等，但都是以直觀的數字形式展示當前的真空狀況。 4.記錄與分析：在測量過程中，及時記錄不同時刻的真空度數據，以便后續對數據進行分析和處理。如果需要進行多次測量或長期監測，應按照一定的時間間隔進行記錄，并注意觀察數據的波動情況，判斷是否存在異常。 |
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